| 規格（長×寬）mm | 檢驗平臺精度等級 | ||
| 1級 | 2級 | 3級 | |
| 平面度公差（um） | |||
| 200×200 | 10 | 20 | 50 |
| 300×200 | 12 | 24 | 60 |
| 300×300 | 12 | 24 | 60 |
| 300×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×400 | 12 | 24 | 60 |
| 400×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×500 | 14 | 28 | 70 |
| 500×600 | 14 | 28 | 70 |
| 500×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×800 | 16 | 32 | 80 |
| 600×900 | 16 | 32 | 80 |
| 1000×750 | 18 | 36 | 90 |
| 1000×1000 | 20 | 39 | 96 |
| 1000×1200 | 20 | 40 | 100 |
| 1000×1500 | 24 | 48 | 120 |
| 1000×2000 | 26 | 52 | 130 |
| 1500×2000 | 28 | 56 | 140 |
| 1500×2500 | 32 | 64 | 152 |
| 1500×3000 | 70 | 174 | |
| 2000×3000 | 74 | 184 | |
| 2000×4000 | 219 | ||
| 2500×3000 | 186 | ||
| 2000×4500 | 237 | ||
| 2000×5000 | 255 | ||
| 2000×6000 | 292 | ||
| 3000×6000 | 308 | ||
